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1. 张江高科（600895）
持有上海微电子10%股权（国内唯一量产90nm光刻机，28nm研发中），受益国产整机突破。28nm浸没式光刻机量产在即，投资收益或超5亿元。
2. 茂莱光学（688502）
国内唯一量产DUV光刻机投影物镜，精度λ/50，单机价值5000万元。绑定上海微电子，2025年新增订单翻倍。
3. 芯碁微装（688630）
直写光刻龙头，协同“羲之”电子束光刻机研发，量子芯片设备订单增300%。纳米级光刻工艺打破海外垄断。
4. 凯美特气（002549）
国内唯一通过ASML认证的KrF/ArF光刻气供应商，纯度99.9999%。Q1净利润增1104%，台积电/中芯国际供应链份额提升。
5. 华特气体（688268）
核心优势：全球唯二通过ASML和GIGAPHOTON双认证，覆盖EUV全系气体。5nm制程光刻气国产替代加速。
6. 新莱应材（300260）
核心优势：半导体真空系统获ASML认证，耐压强度10MPa，泄漏率全球最低。光刻机业务收入预计15亿元（同比+45%）。
7. 海立股份（600619）
为上海微电子供应光刻机冷却系统，技术升级至系统级。中报净利预增691%，切入28nm设备供应链。
8. 炬光科技（688167）
EUV光场匀化器全球第二，供货ASML，光效提升40%。获ASML追加订单，2025年净利预增150%。
9. 蓝英装备（300293）
全球光刻机清洗设备市占率80%，绑定ASML。中国光刻机量产带动清洗需求激增。
10. 奥普光电（002338）
承担国家EUV物镜攻关，精度2nm，进入上海微电子供应链。大基金三期重点扶持光源/物镜环节。
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发表于 2025-8-22 16:41:00